激光干涉儀配置選型注意事項
點擊次數：2691 更新時間：2018-06-20
激光干涉儀資訊信息平臺，激光干涉儀配置選型注意事項：
- 平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組
- 平行度測量配置需求：依據軸向量程范圍，選擇相應直線度鏡組即可
- 短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組
- 長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組
- 直線度附件：主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量
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